Недавнее открытие первого в Дании предприятия по производству 300-мм кремниевых пластин знаменует собой решающий шаг вперед для Дании в достижении технологической самодостаточности в Европе. Новое предприятие, получившее название POEM Technology Center, является результатом сотрудничества между Данией, проектом Quantum Chip Project (NQCP) фонда Novo Nordisk и французской компанией Riber и расположено в Институте Нильса Бора при Копенгагенском университете. Центр, позиционируемый как центр фотоники и производства квантовых чипов, интегрирует передовые технологии, такие как молекулярно-лучевая эпитаксия, с целью ускорения технологических прорывов и укрепления экосистемы микрочипов и квантовых технологий в Дании и Европе.
«Благодаря этому предприятию мы можем интегрировать производство материалов в собственную систему, что позволит нам более эффективно проводить исследования и разработки, не завися от других компаний по всему миру в вопросах производства», — сказал Петер Крогстроуп, генеральный директор NQCP и профессор Института Нильса Бора. «Кроме того, это помогает нам напрямую преобразовывать технологии, разработанные в ходе исследований и разработок, в крупномасштабное производство, что выгодно не только нам, но и Дании, и всей отрасли».
Он добавил: «Мы видим огромный спрос на 300-миллиметровые пластины в Европе. Мы сможем быстро поставлять материалы крупным литейным заводам и небольшим предприятиям по производству пластин, оснащенным передовым 300-миллиметровым оборудованием, поскольку мы можем вырезать компоненты из наших пластин, соответствующие их меньшим размерам».
Планируется, что Технологический центр POEM будет полностью введен в эксплуатацию в течение года, после чего начнет массовое производство кремниевых пластин и пластин на основе кремния на диэлектрической подложке. Крогструп и его коллеги будут использовать передовую эпитаксиальную технологию Рибера для выращивания тонких пленок титаната стронция (STO) и титаната бария (BTO) на пластинах для изготовления электрооптических детекторов, передатчиков и волноводов — ключевых компонентов для интеграции фотонных платформ и сложных квантовых схем.
Крогстрём заявил, что первые материалы для исследований и разработок будут готовы к концу года. В настоящее время он и его коллеги создают полную инфраструктуру для производства микросхем, включая оборудование для изготовления пластин, нарезки и шинирования. Центр будет служить пилотной производственной линией и центром прототипирования микросхем. «Мы сможем быстро изготавливать тонкопленочные материалы на пластинах, а затем поставлять микросхемы всем заинтересованным лицам», — сказал он. «В то же время мы будем проводить исследовательскую работу по разработке передовых структур».
Он добавил: «В настоящее время мы продолжим работу на этапе исследований и разработок, пока не найдем правильный способ создания компонентов, необходимых для квантовых вычислений, что является нашей основной задачей».
Крогструп ожидает, что инновации в технологическом центре POEM помогут NQCP быстрее достичь своих целей в области отказоустойчивых квантовых вычислений: «В NQCP у нас есть крупномасштабный автоматизированный комплекс для характеризации, который может проверять и характеризовать структуру всей пластины. Наши группы по характеризации материалов и кубитов разработали методы, которые позволяют быстро получать информацию о свойствах материалов и их качестве. Таким образом, объединив эти технологии с POEM, мы получим полностью замкнутый цикл для локальной разработки фотоники и квантовых чипов».
В проекте приняли участие несколько ключевых датских учреждений, включая Национальный центр нанофабрикации и характеризации Технического университета Дании (DTU Nanolab) и Североатлантический акселератор оборонных инноваций НАТО (DIANA). DIANA поддерживает перспективные технологии двойного назначения, включая квантовые и фотонные технологии, как для коммерческого, так и для оборонного применения. «Многие из наших оптических модуляторов и фотонных интегральных схем будут полезны для (коммерческих) датчиков и обработки данных», — отметил Крогстроп.
Важно отметить, что технологический центр POEM соответствует более широким европейским усилиям по снижению зависимости от американских и азиатских чипов. Аналогичным образом, в Дании Фонд Novo Nordisk и Датский фонд экспортных инвестиций совместно инвестировали 80 миллионов евро в проект QuNorth, целью которого является создание в Дании квантового компьютера следующего поколения. При поддержке закона ЕС о чипах возникло множество государственно-частных партнерств, направленных на удвоение доли Европы в мировом производстве полупроводников до 20% к 2030 году. В июле этого года Европейская комиссия предложила квантовую стратегию, которая включает создание центров квантового проектирования и пилотных производственных линий для квантовых чипов, призванных помочь Европе стать мировым лидером в этой области к 2030 году.
Крогстроп заявил: «В эти неопределенные времена, когда мы не уверены, на кого можем положиться, всех нас интересует технологическая автономия. Наличие многочисленных (объектов) в Европе выгодно, и POEM особенно важен, поскольку область интегрированной фотоники переживает бурный рост».
Он добавил: «В настоящее время в Европе нет производственных линий, способных удовлетворить спрос на наши будущие материалы STO и BTO. Компания Imec в Бельгии также расширяет свои производственные линии. Эти новые мощности будут очень полезны».
В перспективе Крогстром предполагает, что технологический центр POEM будет сотрудничать с производителями 300-мм кремниевых пластин по всей Европе. Он также надеется на партнерство с производителями 300-мм пластин в более отдаленных регионах, а также с GlobalFoundries в США и TSMC на Тайване в области передовой фотоники и производства квантовых устройств. «Например, квантовые межсоединения будут играть решающую роль, когда начнется массовое производство квантовых компьютеров», — сказал он.
Поэтому с настоящего момента и до 2030 года генеральный директор NQCP и его коллеги будут заниматься развитием технологического центра POEM в действительно национальную экосистему передовых квантовых и фотонных чипов. «Мы продолжим работать в рамках (международной) экосистемы, потому что никто не может действовать в одиночку… но мы надеемся на более тесное сотрудничество с различными заинтересованными сторонами и компаниями-производителями оборудования, работающими в области 300-мм технологий», — сказал Крогстроп. «Riber была первой компанией, присоединившейся к нам, но мы построим более крупный (центр), чтобы другие компании могли приходить и разрабатывать свои новейшие продукты и передовые технологии».
Дата публикации: 24 ноября 2025 г.